【明報專訊】香港中文大學的研究團隊將印刷報章的「卷對卷（roll-to-roll，R2R）」多層印刷技術，提高精度500倍至100納米（即0.1微米），應用於製造柔性電子器件，如電視屏幕、太陽能電池面板等。中大工程學院機械與自動化工程學系教授陳世祈表示，相對於現行的光刻技術，R2R印刷系統毋須於無塵室環境下操作，可將柔性電子器件生產成本降低一半至九成。
精度100納米 可製屏幕電池板
中大研究團隊自2012年起，開始研究以R2R印刷技術製作柔性電子器件。陳世祈說，R2R印刷技術有相當歷史，至今印刷報紙仍沿用該技術，同一頁的報紙會印數次，以不同顏色的油墨混出彩色影像。陳說，此技術成本低、速度快，平均每分鐘可印50米報紙，不過目前其可達到的工藝印刷精度非常低，最好的只有40至50微米，難以進一步應用至印製精密電子器件。
陳世祈表示，觸控式螢幕、太陽能光伏電池等光學電子器件，現時一般以光刻或電子束刻蝕製造，生產過程繁複需時，並須在無塵室進行，成本高昂但產量低。
不必無塵室工作 勝光刻技術
研究團隊開發出全新的R2R多層印刷系統，以多軸校準改良對準功能，降低誤差；又引入基於機器視覺的校正技術，利用普通的工業攝像機，即時監測薄膜上的對準標記，調節印刷輥軸，提高層與層之間的對準精度。
陳世祈說，現時R2R多層印刷系統有應用於製作電視屏幕及一些低精度的柔性電子器件，如業界引入該技術製作高精度柔性電子器件，可將壓印誤差控制於200納米內，分辨率達100納米，且毋須於無塵室環境下操作，降低一半至九成生產成本，並提升產量。