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中大改良壓印電子器件 精準500倍成本減半

【明報專訊】香港中文大學的研究團隊將印刷報章的「卷對卷(roll-to-roll,R2R)」多層印刷技術,提高精度500倍至100納米(即0.1微米),應用於製造柔性電子器件,如電視屏幕、太陽能電池面板等。中大工程學院機械與自動化工程學系教授陳世祈表示,相對於現行的光刻技術,R2R印刷系統毋須於無塵室環境下操作,可將柔性電子器件生產成本降低一半至九成。

精度100納米 可製屏幕電池板

中大研究團隊自2012年起,開始研究以R2R印刷技術製作柔性電子器件。陳世祈說,R2R印刷技術有相當歷史,至今印刷報紙仍沿用該技術,同一頁的報紙會印數次,以不同顏色的油墨混出彩色影像。陳說,此技術成本低、速度快,平均每分鐘可印50米報紙,不過目前其可達到的工藝印刷精度非常低,最好的只有40至50微米,難以進一步應用至印製精密電子器件。

陳世祈表示,觸控式螢幕、太陽能光伏電池等光學電子器件,現時一般以光刻或電子束刻蝕製造,生產過程繁複需時,並須在無塵室進行,成本高昂但產量低。

不必無塵室工作 勝光刻技術

研究團隊開發出全新的R2R多層印刷系統,以多軸校準改良對準功能,降低誤差;又引入基於機器視覺的校正技術,利用普通的工業攝像機,即時監測薄膜上的對準標記,調節印刷輥軸,提高層與層之間的對準精度。

陳世祈說,現時R2R多層印刷系統有應用於製作電視屏幕及一些低精度的柔性電子器件,如業界引入該技術製作高精度柔性電子器件,可將壓印誤差控制於200納米內,分辨率達100納米,且毋須於無塵室環境下操作,降低一半至九成生產成本,並提升產量。

明報記者

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