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荷蘭ASML:EUV光刻機售華待批准

【明報專訊】在美國針對高新技術圍堵中國的背景下,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)全球副總裁、中國區總裁沈波在進博會上表示,該公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態度,對全球客戶均一視同仁。他並透露,今年二三季度,ASML向中國發貨的光刻機,佔全球總台數的兩成。

澎湃新聞昨引述沈波表示,在過去30年ASML已為中國提供了700多台裝機,涵蓋了ASML公司絕大部分類型產品。

至於能夠生產iPhone12所搭載的5納米晶片的EUV(極紫外光)光刻機,仍然在等待荷蘭政府批出向中國出口的許可證。他強調,ASML必須在遵守法律法規的前提下出口光刻機,對中國同樣保持開放態度。「我們對全球客戶都一視同仁,只要是我們能夠提供的技術和設備,我們都會全力支持。」

沈波說,集成電路行業雖僅有60年歷史,但就晶片製造而言,需要上千道工序,前期技術儲備時間非常長。他表示,現在中國集成電路行業發展非常強勁,近年對集成電路投入頗大,但從晶片製造行業發展角度而言,全球正不斷整合,中國最終也會融入該體系,但中國仍必須經歷一些過程。

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